檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Kuang-Hua Fuh".ecommittee (精準) and year="95"
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摘要 本文旨在建立結合分子靜力學與變形理論,而提出分子靜力學是以莫氏力建立模擬系統,模擬CMP粒子的加工行為。本文對奈米加工參數設定方面,是利用六方最密排列的鑽石研磨粒切削完美面心立方體銅,應用二…
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本文所用的準穩態奈米靜力學,是以計算每個原子的運動軌跡方法來直接求解每個原子移動一小距離時,莫氏力在X方向及Y方向的平衡方程式,來定出原子的新運動位置。由於本文的平衡方程式具有兩個需要求解的未知數x…